Dieses Bild zeigt  Karsten Frenner

Dr.

Karsten Frenner

Doktorandenbetreuer A2
Institut für Technische Optik
Hochauflösende Messtechnik und Simulation

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Fachgebiet

Die Arbeitsschwerpunkte liegen einerseits in der rigorosen Simulation der eigentlichen Licht-Struktur-Wechselwirkung bis hin zur Modellierung des kompletten optischen Messprozesses, andererseits in der experimentellen Untersuchung neuer und bewährter Messverfahren, die neben der Intensität die Polarisation und die Phase des Lichtes als weitere Informationskanäle nutzten, um Strukturinformation höchster Genauigkeit zu erhalten. Hierzu zählen neben mikroskopischen Verfahren, die Diffraktometrie, Scatterometrie und polarisationsaufgelöste Tomographie.

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